KPD-650

光変位計システム

基準距離　　　10mm

測定範囲　　　±500.0μm

光源　　　　　　半導体レーザー（650nm）

光出力　　　　　500μW

スポット径　　　φ150μm（PSD素子上にて）

直線性　　　　　±2.5％　of FS

電圧分解能　　±5Ｖ（1Ｖ＝100.0μm）